多线切割机张力控制系统的分析与校正  

Analysis and Correction of Tension Control System for Multi Wire-Saw

作　　者：吴旭[1] 姜家宏[1] 田洪涛[1] 张为强[1] 

机构地区：[1]中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京100176

出　　处：《电子工业专用设备》2016年第11期11-16,共6页Equipment for Electronic Products Manufacturing

基　　金：国家02科技重大专项"硅材料设备应用工程"(2009ZX02011-002A)支持项目

摘　　要：针对原多线切割机设计中控制系统稳定性差的问题,建立了张力控制系统的模型,分析了钢丝拉伸变形对于控制系统稳定性的影响,提出了新的用于产生钢丝张力的伺服电机的转矩控制方案,并通过理论分析和实际使用证明,改进后的控制方法有效提高了张力控制系统的稳定性,满足了设备的使用要求。Aimed at improving the stability of original designed tension control system for the multi wire-saw,a model of the tension control system is established and the effect of steel wire＇s elongation to the system stability is analysed. A new torque controlling method of the servo motor to generate the tension of wire is put forward. The theoretic analysis and practical use of this way has proved that the improved tension control method enhance the stability of the tension control system effectively and the tension control system meet the requirement of the device.

关 键 词：多线切割机 张力控制 稳定性 极点 

分 类 号：TN305[电子电信—物理电子学]