激光干涉比长仪的瞄准方法  

作　　者：张晓[1] 茅振华[1] 陈挺[1] 周红明[1] 高宏堂[2] 叶孝佑[2] 

机构地区：[1]浙江省计量科学研究院,杭州310012 [2]中国计量科学研究院,北京100029

出　　处：《计量技术》2016年第12期3-6,共4页Measurement Technique

基　　金：中国计量科学研究院技改项目（SJG0301）;中国计量科学研究院基本科研业务（AKY0733）

摘　　要：本文提出一种改进型的单狭缝刻线瞄准方法，通过计算刻线信号重心坐标平均值，确定刻线中心位置，实验结果表明因刻线信号形状不规则引起的误差小于4nm；通过简化算法将计算时间缩短到1s以内，实现了测量数据的实时处理。

关 键 词：激光干涉比长仪 刻线瞄准 单狭缝 

分 类 号：F203[经济管理—国民经济]