高灵敏度低工作温度的氢气传感器  

作　　者：梁庆成[1] 赵建勋[1] 高尚[1] 蒋大勇[1] 侯建华[1] 秦杰明[1] 

机构地区：[1]长春理工大学材料科学与工程学院,吉林长春130022

出　　处：《黑龙江科技信息》2016年第36期96-97,共2页Heilongjiang Science and Technology Information

基　　金：国家自然科学基金(61473132;61205038);吉林省科技发展计划项目医药专项基金(20150311086YY)支持

摘　　要：我们制备了新型的高灵敏度低工作温度的氢气传感器。该传感器基于静电纺丝法合成的混有碳纳米管的Pd-Ni-SnO_2纳米纤维。对合成的材料通过XRD、SEM、TEM、SAED进行了表征。传感器以3×4mm^2带有Pt电极的SiNx-Si-SiNx片为衬底,敏感层的面积为1.5×2.5mm^2。在室温下(25℃),该传感器对H_2有着很好的气敏特性,对1ppm H_2其敏感度达到15,响应和恢复时间分别为6s和9s,同时传感器在90天内敏感特性几乎不变,说明其具有优异的稳定性。

关 键 词：气体传感器 半导体 纳米纤维 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]