飞秒激光烧蚀硅表面弹坑形貌偏振依赖性研究  

作　　者：纪煦[1] 张莉英[1] 丁红军[1] 付宏鸽[1] 吕玉梅[1] 

机构地区：[1]北华航天工业学院机电工程学院,河北廊坊065000

出　　处：《科技创新与应用》2017年第4期38-39,共2页Technology Innovation and Application

基　　金：河北省科技计划项目(15211818);河北省高等学校科学技术研究项目(QN2016054);廊坊市科技局计划项目(2015011013);北华航天工业学院博士启动基金项目(BKY-2015-01)

摘　　要：不同偏振方向下飞秒激光单点烧蚀硅表面形成了椭圆形弹坑。实验结果发现,沿着激光偏振方向,形成了椭圆形弹坑。随着激光脉冲能量密度的增加,弹坑的形状逐渐接近圆形。利用时域有限差分法(FDTD)分析了物理机理,表面微纳缺陷或初始烧蚀点引起硅表面烧蚀区域电场重新分布,使得电场强度沿着激光偏振方向增强,因此形成了椭圆形状的弹坑。

关 键 词：飞秒激光 偏振 硅表面 弹坑 

分 类 号：O536[理学—等离子体物理]