硬X射线光电子能谱（HAXPES）  

Hard X-ray Photoelectron Spectroscopy （ HAXPES ）

作　　者：Joseph C. Woicik 杨盈莹[2] 

机构地区：[1]不详 [2]中国科学院半导体研究所

出　　处：《国外科技新书评介》2016年第12期21-22,共2页Scientific & Technology Book Review

摘　　要：电子能谱分析是一种研究物质表层元素组成与离子状态的表面分析技术。其基本原理是利用单色射线照射样品，使样品中原子或者分子的电子受激发射，然后测量这些电子的能量分布。通过与已知元素的原子或者离子的不同壳层的电子的能量相比较，就可以确定未知样品中原子或者离子的组成和状态。X射线光电子能谱，分为软X射线光电子能谱和硬X射线光电子能谱，是根据物质中各元素所辐射的特征X射线谱的波长和强度，来测定元素成分的分析方法。

关 键 词：X射线光电子能谱 离子状态 元素组成 表面分析技术 电子能谱分析 未知样品 能量分布 射线照射 

分 类 号：O484.1[理学—固体物理]