溅射靶材的应用及发展  

Application and Development of Sputtering Target Material

作　　者：周传水[1] 那嘉[1] Zhou Chuanshui Na Jia(Bengbu Design and Research Institute for Glass Industry Shenzhen Guangdong 528137)

机构地区：[1]蚌埠玻璃工业设计研究院,广东深圳528137

出　　处：《中国玻璃》2016年第6期22-24,共3页China Glass

摘　　要：本文对国内外溅射靶材的应用及发展作简要分析。This paper briefly analyses the application and development of sputtering target materials at home and abroad

关 键 词：溅射靶材的种类 制备 趋势 

分 类 号：TB43[一般工业技术]