新版ISO14644-1∶2015与旧版ISO14644-1∶1999比较  

作　　者：吴振一[1] 

机构地区：[1]苏州市计量测试研究所,江苏苏州215128

出　　处：《工业计量》2017年第2期61-64,共4页Industrial Metrology

摘　　要：ISO 14644-1(14644-1∶2015)最新版本(第2版)已经于2015年12月发布,在新版的规范中,对洁净度分级、采样点数量、采样数据处理方面均有部分变化,文章对新版本ISO标准的主要变化及其对洁净室确认的分级测试的影响进行深入讨论。

关 键 词：ISO14644-1 洁净室 分级 检测 等速采样 

分 类 号：F203[经济管理—国民经济]