梳齿式结构电容式加速度传感器设计  

作　　者：周文萌 

机构地区：[1]大连理工大学海洋科学与技术学院,辽宁盘锦124000

出　　处：《科技创新与应用》2017年第12期84-84,共1页Technology Innovation and Application

摘　　要：选择梳齿式差分电容结构对电容式加速度传感器进行设计,阐述其优势和原理,并选用相匹配的传输电路,同时根据数据曲线对敏感质量块和挠性梁结构参数的选择提供参照。

关 键 词：电容式加速度传感器 梳齿式差分结构 MEMS 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]