探针卡在芯片产业化中的应用分析  

Analyze the Performance For Prober card In Chip Industrialization

作　　者：杨跃胜[1] 武岳山[1,2] 

机构地区：[1]深圳市远望谷信息技术股份有限公司,深圳518057 [2]西北大学信息科学与技术学院,陕西西安710127

出　　处：《中国集成电路》2017年第4期58-61,75,共5页China lntegrated Circuit

摘　　要：芯片产业化过程中,涉及到大量探针卡的应用,探针卡对芯片测试非常重要;根据不同的标准对探针及探针卡进行分类;针对不同应用环境,分析了探针卡的选取方法;最后给出了探针卡的存放和使用相关规范,对探针卡的设计、加工及芯片的中测测试应用具有一定的参考作用。Probe card is widely used in chip industrializalion, It is very important for the chip the probe and probe card are classified according to different standards; The selection method lvzed according to different application environmenk card are given. This paper has reference function for Finally. the design, testing： In this paper, of prohe card is ariathe relevant rules for the storage and manufacture and test of probe card.

关 键 词：探针 探针测试卡 芯片测试 WAFER 

分 类 号：TN407[电子电信—微电子学与固体电子学]