我国首个半导体薄膜设备生产基地在沈投产  

出　　处：《新材料产业》2017年第5期79-79,共1页Advanced Materials Industry

摘　　要：4月14日，由沈阳拓荆科技有限公司（以下简称“拓荆科技”）建设的我国首个半导体薄膜设备生产基地在沈阳市浑南区落成投产。该基地一期可容纳1000人规模的研发制造团队，年产能可达100台（套），实现产值15亿元。全部达产后，年产能可达350台（套）。

关 键 词：生产基地 膜设备 半导体 投产 沈阳市 科技 产能 

分 类 号：X792[环境科学与工程—环境工程]