基于HF酸蚀刻速率法的ULE玻璃铣磨亚表面破坏层深度检测  

作　　者：汉语[1] 徐井华[2] 崔舒[2] 张勇[2] 刘成有[2] 

机构地区：[1]通化师范学院物理学院 [2]通化师范学院

出　　处：《通化师范学院学报》2017年第6期35-37,共3页Journal of Tonghua Normal University

基　　金：国家自然科学基金项目(61505216);吉林省教育厅"十二五"科学技术研究项目(2013.386)

摘　　要：HF酸蚀刻速率法是光学材料亚表面损伤检测的一种有效方法.本文利用该方法对ULE玻璃铣磨亚表面破坏层深度进行了测量.测量结果表明,在25wt%HF酸作用下,蚀刻速率曲线在90min后到达拐点,对应的亚表面破坏层深度约为30μm.

关 键 词：ULE玻璃 铣磨 亚表面损伤 HF酸蚀刻速率法 

分 类 号：TG580.6[金属学及工艺—金属切削加工及机床]