激光跟踪仪在大型平板平面度检测中的应用  

作　　者：高瑞翔[1] 

机构地区：[1]上海市质量监督检验技术研究院,上海201112

出　　处：《工业计量》2017年第3期50-51,64,共3页Industrial Metrology

摘　　要：分析了使用水平仪进行大型平板平面度检测中存在的问题,研究利用激光跟踪仪进行平板的平面度检测。针对激光跟踪仪的测量数据格式,制定了数据处理方案。最后对两者的测量结果及不确定度进行了比较,并给两种测量方法的适用范围及优势做了探讨。

关 键 词：平板 平面度 激光跟踪仪 

分 类 号：TH744.5[机械工程—光学工程]