一种兼具VOA功能的高可靠MEMS光开关  

High reliability MEMS optical switch with VOA function

作　　者：杨艳锋[1] 陈国帅[1] 向霖[1] YANG Yanfeng CHEN Guoshuai XIANG Lin(The 34th Research Institute of CETC, Guilin Guangxi 541004, China)

机构地区：[1]中国电子科技集团公司第三十四研究所,广西桂林541004

出　　处：《光通信技术》2017年第7期21-24,共4页Optical Communication Technology

摘　　要：对现有光开关的技术和功能局限性进行了分析,提出了一种新的技术方案。研制出兼具VOA功能的高可靠、小型化、低功耗1×16微机电系统(MEMS)光开关,并对成品进行了实验验证。This paper analyzes the technical and functional limitations of the existing optical switches, proposes a new technical scheme. The paper develops a both VOA function, high reliable, compact and low power 1 ×16 micro electro mechanical system （MEMS） optical switch, then verifies the finished product by experiments.

关 键 词：光开关 VOA 高可靠 小型化 低功耗 

分 类 号：TN915.62[电子电信—通信与信息系统]