阴极沉积法制备纳米TiO_2薄膜及微观形貌分析  

作　　者：刘方方[1] 

机构地区：[1]广东科技学院机电工程系,广东东莞523083

出　　处：《信息记录材料》2017年第8期195-196,共2页Information Recording Materials

摘　　要：本文以TiOSO_4为原料,以2024铝合金片基体作为阴极、Ti片作为阳极,以2.5V的恒电位电压阴极电沉积,使得TiO_2、部分[Ti_2O_5(OH)_2]_n、TiO(OH)_2·H_2O和Ti(OH)_2凝胶在基体表面沉积,最后将电沉积的薄膜在马弗炉中经400℃烧结4h,得到二氧化钛晶体膜。利用Nova NanoSEM 450扫描电镜对其进行了微观形貌分析,结果表明,本法制备的TiO_2薄膜尺寸较均匀,几乎完全达到纳米尺度级别。本实验流程简单,操作方便,是一种经济有效的制备纳米氧化钛薄膜的工艺。

关 键 词：阴极沉积纳米 TI O2薄膜制备工艺 

分 类 号：TB383[一般工业技术—材料科学与工程]