中微半导体成唯—进入台积电7nm制程的大陆设备商  

出　　处：《新材料产业》2017年第8期78-79,共2页Advanced Materials Industry

摘　　要：据报道，目前台积电的7nm布局最积极，近期台积电更是转变了7nm制程设备的采购策略，将应用材料（Applied Materials）、科林研发（LAM）、东京威力科创（TEL）、日立先端（Hitach）、中微半导体5大设备商均纳入采购名单，致力平衡7nm制程设备商生态价格。

关 键 词：制程设备 设备商 台积电 半导体 大陆 采购策略 力平衡 日立 

分 类 号：TN405[电子电信—微电子学与固体电子学]