微型磁通门的优化分析与性能测试  

Optimization Analysis and Performance Test of Micro Fluxgate

作　　者：吕辉[1,2,3] 郅富标 

机构地区：[1]河南理工大学电气工程与自动化学院,河南焦作454000 [2]河南理工大学控制工程省重点学科开放实验室,河南焦作454000 [3]西北工业大学电子信息学院,西安710129 [4]河南工业和信息化职业学院电气工程系,河南焦作454000

出　　处：《传感技术学报》2017年第4期523-528,共6页Chinese Journal of Sensors and Actuators

基　　金：高等学校博士学科点专项科研基金项目(20126102110031);河南省自然科学基金项目(162300410123);河南省高等学校控制工程重点学科开放实验室项目(KG2016-11)

摘　　要：对铁芯结构的改进有利于满足微型磁通门传感器降低功耗的要求,但不同的拓扑结构所取得的效果不同,为此对铁芯结构进行了优化分析,并采用MEMS工艺制备了不同铁芯结构的微型磁通门进行性能测试与对比验证。测试结果表明,优化后的多孔铁芯结构能更好的降低微型磁通门传感器的功耗与噪声,提高灵敏度,改善器件的整体性能。Structural improvement of core is conducive to meet the requirement of micro fluxgate sensor to reduce power consumption.But different topological structures have different effect.In this papar,topology analysis and targeted optimization of core was completed.The micro fluxgate based different porous core was fabricated by MEMS technology.By testing and comparing performance of these sensors,the test result show that optimized structure of core can better reduce power consumption and noise of micro fluxgate sensor and improve its sensitivity to enhance overall performance of micro fluxgate.

关 键 词：多孔铁芯 微型磁通门 优化分析 性能测试 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]