扫描探针显微技术及其应用  

作　　者：贺爽博 

机构地区：[1]湖南师范大学附属中学

出　　处：《电子世界》2017年第20期145-145,147,共2页Electronics World

摘　　要：当今纳米科技时代,显微技术越来越成为一项不可或缺的研究手段。本文全面介绍了目前具有广泛应用的扫描探针显微技术,包括扫描隧道显微镜、原子力显微镜,以及导电原子力显微镜、压电响应力显微镜和磁力显微镜等专用功能型的扫描探针显微技术。本文介绍了这些扫描探针显微技术的工作原理,并比较了它们在应用上的优缺点。

关 键 词：扫描探针显微技术 扫描隧道显微镜 原子力显微镜 发展综述 

分 类 号：TN432[电子电信—微电子学与固体电子学]