基于洛伦兹力的MEMS磁传感器的研究进展  

Research Progress of MEMS Magnetic Field Sensors Used in Lorentz Force-based

作　　者：张云琦[1] 张景波[1] 邢春香[1] 孙晓冰[1] 胡大强 殷景志[2] 陈信琦 

机构地区：[1]长春理工大学光电信息学院,吉林长春130012 [2]集成光电子学国家重点实验室,吉林大学电子科学与工程学院,吉林长春130012 [3]中国电子科技集团公司第四十九研究所,黑龙江哈尔滨150001

出　　处：《仪表技术与传感器》2017年第11期1-5,24,共6页Instrument Technique and Sensor

摘　　要：文中对制作MEMS磁传感器过程中涉及的主要设计参数、器件的制备工艺进行了介绍,综述了基于洛伦兹力的各种结构MEMS磁传感器的灵敏度、品质因子、噪声和探测极限等特性,并对其未来发展进行了展望。In this paper,many kinds of the main designs,the preparation process of the device and the sensing technology during MEMS magnetic sensor process were introduced. The characteristics of sensitivity,quality factor,noises and detection limit of MEMS magnetic sensors used in Lorentz force-based with various structures were reviewed. Its future development prospect was presented.

关 键 词：MEMS磁传感器 器件设计与制作 灵敏度 探测极限 洛伦兹力 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]