利用量子化学方法研究CVD反应机理  

作　　者：任海涛 

机构地区：[1]天津大学材料科学与工程学院,先进陶瓷加工技术教育部重点实验室,天津300072

出　　处：《科技与创新》2018年第3期111-112,共2页Science and Technology & Innovation

摘　　要：详细介绍了通过量子化学结合统计及经典热力学对CVD体系进行的化学反应热力学研究,阐述了国内外相关的研究进展,指出了研究CVD反应机理目前存在的问题以及未来研究的重点,介绍了如何通过可靠的理论计算建立CVD体系相对完整的热力学数据库,以及对CVD体系反应机理的理论预测方法。

关 键 词：CVD反应机理 热力学 量子化学 气相反应 

分 类 号：TM615[电气工程—电力系统及自动化]