磁控溅射镀膜新技术  

Magnetron Sputering Technology

作　　者：许晓丽[1] 

机构地区：[1]中国电子科技集团公司第33研究所电磁防护材料及器件事业部,山西太原030032

出　　处：《电子材料与电子技术》2017年第4期37-46,共10页Electronic Material & Electronic Technology

摘　　要：本文介绍了电磁防护透明薄膜相关知识以及在制作电磁防护透明薄膜时用的磁控溅射镀膜新技术。In this paper the relevant kncwledge of the transparent film of electromagnetic protection and the new technology of magnetron sputtering coating used in the manufature of transparent thin films for electromagnetic protedtion are introduced.

关 键 词：电磁防护 透明薄膜 磁控溅射镀膜 

分 类 号：TN305.92[电子电信—物理电子学]