一种高压平面闸流管器件及其制作方法  

出　　处：《高科技纤维与应用》2018年第1期61-61,共1页Hi-Tech Fiber and Application

摘　　要：本发明公开了一种高压平面闸流管器件，包括N型FZ硅片，N型FZ硅片的背面设有PWELL区，PWELL区的背面设有阳极电极，N型FZ硅片的四周环设有P型隔离区，N型FZ硅片的正面通过SIPOS膜对称设有玻璃钝化区，玻璃钝化区的正面设有聚酰亚胺保护膜，玻璃钝化区与N型FZ硅片之间设有分压环和截止环，N型FZ硅片的上部、位于玻璃钝化区内缘之间的部分设有短基区，短基区的上部设有NWELL区，NWELL区的正面设有阴极电极，短基区正面的一侧与钝化玻璃区之间设有门极电极。本发明采用穿通隔离、分压环、场板及多层钝化制作出高工作电压的平面闸流管器件，工艺简单，器件的高温漏电小，可靠性高，失效率更低。

关 键 词：闸流管 器件 平面 制作 高压 SIPOS膜 钝化区 聚酰亚胺 

分 类 号：TN248.21[电子电信—物理电子学]