一种钨制品的制备装置及方法  

出　　处：《低温与特气》2018年第2期54-54,共1页Low Temperature and Specialty Gases

摘　　要：申请（专利）号：201710689624.2公开（公告）日：2017-12-08申请（专利权）人：北京理工大学中船重工（邯郸）派瑞特种气体有限公司摘要：本发明涉及一种钨制品的制备装置及方法,特别涉及超高纯度、超高致密度的高端钨制品工业化绿色制造装置及工艺,属于难熔金属特种加工技术领域。本发明的装置通过电解制气装置、氟化装置、化学气相沉积装置和尾气处理装置构成封闭循环.

关 键 词：制备装置 钨制品 化学气相沉积装置 北京理工大学 特种加工技术 尾气处理装置 特种气体 超高纯度 

分 类 号：TG146.411-18[一般工业技术—材料科学与工程]