检索规则说明:AND代表“并且”;OR代表“或者”;NOT代表“不包含”;(注意必须大写,运算符两边需空一格)
检 索 范 例 :范例一: (K=图书馆学 OR K=情报学) AND A=范并思 范例二:J=计算机应用与软件 AND (U=C++ OR U=Basic) NOT M=Visual
机构地区:[1]杭州建新浮法玻璃有限公司,杭州310022 [2]中国新型建筑材料工业杭州设计研究院,杭州310003
出 处:《新型建筑材料》2002年第9期32-33,共2页New Building Materials
摘 要:介绍了采用气相沉积法在线镀膜工艺 ,在稳定镀膜质量的基础上尽量延长持续镀膜生产时间 ,通过试验研究获得镀膜与持续时间最佳工艺参数为反应温度654±2℃ ,硅烷流量1.6m3/h ,乙烯流量3.19l/min,抽气压力保持 -15Pa,初始距离2mm拉引速度420m/h ,可持续生产时间20±0.5h。
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