毛细管X射线荧光测厚仪优势分析  

作　　者：杨昭信 

机构地区：[1]广州计量检测技术研究院

出　　处：《中国计量》2018年第10期87-88,共2页China Metrology

摘　　要：目前,国内外生产的X射线荧光测厚仪性能主要取决于准直器和探测器,毛细管加上SDD硅漂移探测器是最好的结构组合,而且业内的毛细管荧光测厚仪也都全部使用SDD硅漂移探测器。这里选取了两台行业内知名的品牌进行比较,参与比较的机型1由4准直器和Si-PIN探测器组成,机型2由毛细管和SDD硅漂移探测器组成。一、测量范围测量样品1是标准厚度为0.046μm的Au薄片。

关 键 词：X射线荧光 毛细管 测厚仪 硅漂移探测器 SI-PIN探测器 优势 测量范围 SDD 

分 类 号：TH821.1[机械工程—仪器科学与技术]