KLA-Tencor宣布推出Kronos^(TM)1080和ICOS^(TM)F160检测系统  

出　　处：《中国集成电路》2018年第9期86-86,共1页China lntegrated Circuit

摘　　要：KLA—Tencor公司近日宣布推出两款全新缺陷检测产品，旨在解决各类集成电路（IC）所面临的封装挑战。KronosTM1080系统为先进封装提供适合量产的、高灵敏度的晶片检测，为工艺控制和材料处置提供关键的信息。

关 键 词：检测系统 KLA 缺陷检测 集成电路 高灵敏度 工艺控制 封装 晶片 

分 类 号：TN407[电子电信—微电子学与固体电子学]