新型电热式MEMS光开关设计与仿真分析  

Design and simulation analysis of a novel electrothermic type MEMS optical switch

作　　者：肖杰 陆安江 黄子吉 XIAO Jie;LU An-jiang;HUANG Zi-ji(College of Big Data and Information Engineering,Guizhau University,Gniyang 550025,China)

机构地区：[1]贵州大学大数据与信息工程学院,贵州贵阳550025

出　　处：《传感器与微系统》2018年第10期79-81,共3页Transducer and Microsystem Technologies

基　　金：国家国际合作专项项目(2014DFA00670);贵州省科技重大专项项目(黔科合重字[2016]3022号)

摘　　要：在综合比较各类光开关基础上,提出一种新的M型电热式微机电系统(MEMS)光开关结构,并对结构的可行性进行理论分析和多物理场仿真,通过对光开关驱动部分的驱动位移、温度分布、应力应变实验数据的分析,确定了光开关结构的可行性。On the basis of comprehensive comparison of all kinds of optical switch,put forward a kind of M type electrothermic type micro-electro-mechanical system（ MEMS） optical switch structure,and theoretical analysis on feasibility of structure and simulation on multi physical field,through analyzing on drive part displacement,temperature distribution,stress and strain experimental data of optical switch,determine the feasibility of optical switch structure.

关 键 词：全光网络 微机电系统 电热式 光开关 

分 类 号：TN203[电子电信—物理电子学]