KLA-Tencor发布Voyager^(TM) 1015和Surfscan~ SP7缺陷检测系统  

作　　者：Janey 

出　　处：《电子工业专用设备》2018年第5期71-71,共1页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘　　要：《电子工业专用设备》讯：KLA-Tencor公司（纳斯达克股票代码：KLAC）日前宣布推出两款全新缺陷检测产品,在硅晶圆和芯片制造领域中针对先进技术节点的逻辑和内存元件,为设备和工艺监控解决两项关键挑战.VoyagerTM1015系统提供了检测图案化晶圆的新功能,包括在光刻胶显影后并且晶圆尚可重新加工的情况下,立即在光刻系统中进行检查.Surfscan誖SP7系统为裸片晶圆、平滑和粗糙的薄膜提供了前所未有的缺陷检测灵敏度,这对于制造用于7nm节点逻辑和高级内存元件的硅衬底非常重要,同时也是在芯片制造中及早发现工艺问题的关键.这两款新的检测系统旨在通过从根源上捕捉缺陷偏移,以加快创新电子元件的上市时间.

关 键 词：检测系统 缺陷检测 KLA-Tencor公司 电子元件 专用设备 技术节点 制造领域 芯片制造 

分 类 号：TN405[电子电信—微电子学与固体电子学]