薄膜测量的椭偏仪法  

Thin Films Measuring with Ellipsometry

作　　者：杜学东[1] 王红[2] 

机构地区：[1]唐山师范学院国有资产管理处,河北唐山063000 [2]河北师范大学数学系,河北石家庄050051

出　　处：《唐山师范学院学报》2002年第5期67-68,共2页Journal of Tangshan Normal University

摘　　要：简述了椭偏法测量薄膜厚度的物理原理,分析了其系统误差。Physical principles of measuring thin films with ellipsometry are discussed briefly, and its system error is analyzed.

关 键 词：薄膜测量 椭偏义法 厚度测量 测量原理 系统误差 起偏器 检偏器 

分 类 号：O484.5[理学—固体物理] O432.2[理学—物理]