无油机械真空泵及其应用  

Mechanical Vacuum Pumps of Oil Free and Its Application

作　　者：徐成海[1] 刘春姐[1] 张世伟[1] 关奎之[1] 

机构地区：[1]东北大学机械工程与自动化学院,辽宁沈阳110004

出　　处：《真空电子技术》2002年第4期63-67,共5页Vacuum Electronics

摘　　要：综述了适合于电子行业用的无油机械真空泵的种类 ,介绍几种无油机械真空泵的结构、性能、特点和存在的问题 ,以及对泵的选择和应用。An overview of the types of oil free mechanical vacuum pumps suitable for electronic industry is introduced.The construction,function,features,existent problems,selection and application are described for all kinds of mechanical vacuum pumps of oil free.

关 键 词：真空泵 无油机械 应用 种类 结构 

分 类 号：TB752.2[一般工业技术—真空技术]