关于光切显微镜的定度  

作　　者：钱关名 

机构地区：[1]嘉兴市计量检定测试所长度室

出　　处：《计量与测试技术》2002年第5期11-11,共1页Metrology & Measurement Technique

摘　　要：光切显微镜以光切原理为基础 ,能解决工件表面微小峰谷深度的测量问题 ,是测量表面粗糙度的专用仪器之一。光切显微镜一般测量RZ值大于 0 .8μm的工件。本文主要解决在使用光切显微镜时 。

关 键 词：光切显微镜 表面粗糙度 定度 C值 格值 RZ值 工件 检测 

分 类 号：TH742[机械工程—光学工程] TG84[机械工程—仪器科学与技术]