氮气辉光放电阴极鞘层区氮离子输运过程模拟研究  

Research on modeling transport processes of nitrogen ions in cathode sheath of a nitrogen glow discharge

作　　者：黄俊卿[1] 王德真[2] 徐勇[1] 杨学锋[1] 

机构地区：[1]大连理工大学等离子体物理化学实验室,辽宁大连116024 [2]大连理工大学三束材料改性国家重点实验室,辽宁大连116024

出　　处：《大连理工大学学报》2002年第5期514-518,共5页Journal of Dalian University of Technology

基　　金：国家自然科学基金资助项目 (10 0 75 0 11)

摘　　要：从连续性方程出发 ,在考虑离子与中性分子动量交换输运动力学模型下 ,通过理论模拟研究了氮气辉光放电阴极鞘层区 N+、N+ 2 和电子浓度、电位、电场强度的分布规律 。The transport processes of nitrogen ions (N + 2, N +) in the cathode sheath of a nitrogen glow discharge have been studied by using a kinetic model which includes the consideration of momentum transfer between ions and neutral molecules. Spacial variations of ion and electron concentrations, the sheath potential and the electrical field strength along the cathode sheath have been investigated under different gas pressures and initial ion ratios.

关 键 词：氮气 辉光放电 阴极鞘层区 氮离子输运过程 理论模拟 等离子体 电子浓度 电场强度 

分 类 号：O461.21[理学—电子物理学]