基于不同量程的MEMS加速度传感器综合测试系统研究  

作　　者：刘陆燕 陈君 

机构地区：[1]无锡市计量测试院,江苏无锡214101

出　　处：《物联网技术》2017年第10期25-27,共3页Internet of things technologies

基　　金：国家质量监督检验检疫总局科技项目"基于不同量程的MEMS加速度传感器综合测试规范研究及测试系统开发"

摘　　要：针对MEMS加速度传感器测试方法不统一,测试要求多样化的问题,对加速度传感器按照量程进行细化,从测试方法和测试系统入手,研发出一套多量程的MEMS加速度计静态和动态及其温度特性的综合测试系统,搭建了一个多形态MEMS加速度传感器的统一测试平台,适应不同类型加速度传感器的测试需求,从而提升测试效率,降低测试成本,缩短研发测试周期,有助于MEMS传感器产业的迅速发展。

关 键 词：MEMS加速度传感器 测试方法 测试系统 测试平台 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]