碲锌镉晶片的超精密飞切减薄工艺研究  

The process research of ultra precision flycutting and thinning of CdZnTe crystal

作　　者：石广丰[1] 史国权[1] 蔡洪彬[1] 肖建国 SHI Guang-feng;SHI Guo-quan;CAI Hong-bin;XIAO Jian-guo

机构地区：[1]长春理工大学机电工程学院,长春130022

出　　处：《制造业自动化》2018年第4期11-13,26,共4页Manufacturing Automation

摘　　要：运用晶体材料的脆塑转变理论,建立了碲锌镉晶体材料生长晶面(111)面上的脆塑转变临界切削深度模型。然后通过碲锌镉典型样件(111)晶面的超精密飞切铣削实验进行了弧形槽结构的检测和分析,获得了碲锌镉晶体材料(111)晶面的脆塑转变临界切削深度数值。并确定了切削单晶碲锌镉材料时的最佳飞切晶向,实现了飞切方向和最小切削厚度值的匹配。最后通过组合夹具的使用,进行了超精密飞切减薄试验,实现了一整套晶体材料的超精密飞切减薄加工工艺。

关 键 词：碲锌镉 超精密飞切 减薄 各向异性 脆塑转变 

分 类 号：TH703[机械工程—仪器科学与技术]