氮化铝表面热氧化的分子动力学研究  

作　　者：文于华 张梅 金佳鸿 汤莉莉[2] 

机构地区：[1]湖南理工学院物理与电子学院,湖南岳阳414006 [2]湖北大学知行学院,湖北武汉430011

出　　处：《科技创新导报》2018年第5期82-84,共3页Science and Technology Innovation Herald

基　　金：国家自然科学基金(项目编号:51407066)资助;湖南省自然科学基金(项目编号:13JJ6066)资助;湖南省教育厅科学研究基金(项目编号:16C0716)资助

摘　　要：采用分子动力学方法对氮化铝材料的表面热氧化过程进行了研究,开发了包含Al、N和O三种元素的反应势,探讨了氧化温度和时间对材料结构的影响。发现温度越高氧化反应越容易进行,氧扩散进入纤锌矿结构的氮化铝表面后会生成Al-O-N无定型结构的氧化膜,氧化时间增长时会阻止材料的进一步氧化。

关 键 词：氮化铝 分子动力学 热氧化 

分 类 号：TN304.02[电子电信—物理电子学]