半导体集成电路可靠性测试及其数据处理方法  

作　　者：邱冬冬 

机构地区：[1]长电科技(滁州)有限公司

出　　处：《电子世界》2018年第20期194-195,共2页Electronics World

摘　　要：研究人员在对产品使用时间进行分析中,产品的可靠性至关重要,可靠性目前是检验产品质量很重要的一个项目,它能够明确反映产品质量。在运用全新工艺和材料的条件下,常见的半导体集成电路线宽逐渐降低,所以科研人员就要提升其集成度,因此半导体集成电路可靠性的要求也更加严格。本文主要对半导体集成电路的可靠性测试进行了介绍,并分析了处理数据的两种方法,即热载流子注入测试和栅氧化层测试,希望对半导体集成电路的研发有所帮助。

关 键 词：半导体集成电路 可靠性测试 数据处理方法 产品使用 产品质量 电路可靠性 研究人员 科研人员 

分 类 号：TN43[电子电信—微电子学与固体电子学]