填补国内空白,国机沈阳仪表院成功研制12英寸高精密微水束耦合激光划片机  

出　　处：《中国机电工业》2018年第12期12-12,共1页China Machinery & Electric Industry

摘　　要：近日,国机集团所属沈阳仪表科学研究院有限公司承担的辽宁省科技创新重大专项“高精密激光划片机工艺技术及装备研究”顺利通过验收,成功研制出国内先进的12英寸高精密微水束耦合激光划片机,填补了国内空白,在破解制约国产高端激光IC划切装备及关键工艺瓶颈的道路上迈出坚实一步。

关 键 词：激光划片机 高精密 耦合 微水 仪表 沈阳 关键工艺 科学研究院 

分 类 号：TN248.34[电子电信—物理电子学]