TFT-LCD曝光工艺OPC技术的研究与应用  

作　　者：赵辉 庄恩泽[1,3] 沙双庆 金杨林 

机构地区：[1]南京中电熊猫平板显示科技有限公司,江苏南京210033 [2]南京理工大学 [3]江南大学 [4]长春理工大学 [5]中国科学技术大学

出　　处：《科学与信息化》2017年第26期130-131,共2页Technology and Information

摘　　要：曝光工艺技术在TFT-LCD生产制造中担当着举足轻重的角色,文章详细地介绍了OPC技术的基本概念及应用,并且详细地说明了OPC技术如何引用到TFT-LCD 曝光工艺生产中。最后展示了OPC技术成功引入到曝光工艺生产中的成果。OPC技术极大地提高了曝光工艺的解析能力,提升了产品竞争力,有着极高的经济价值,也为相关领域的生产和研究提供了一定的参考。

关 键 词：TFT-LCD 曝光 工艺 解析能力 OPC 

分 类 号：TN873.93[电子电信—信息与通信工程]