一种高精度压电陶瓷驱动电源设计  

作　　者：程俊辉 范青武 刘旭东 郭艺良 张跃飞[2] 

机构地区：[1]北京工业大学信息学部数字社区教育部工程研究中心 [2]北京工业大学固体微结构与性能研究所

出　　处：《电子世界》2019年第7期134-136,共3页Electronics World

基　　金：科技部国家重大科学仪器设备开发专项--材料微观力学性能原位测试仪器的研制与应用(项目编号:2012YQ03007508)

摘　　要：压电陶瓷(PZT)作为原子力显微镜(AFM)控制结构中微驱动定位的关键器件,能够用于快速跟踪测量样品表面的形貌变化,而其驱动电源是决定压电陶瓷微驱动性能的核心部分。本文采用线性放大式驱动电源原理,设计了一种以AD8572+PA85A为核心的高精度压电陶瓷驱动电源。主要介绍了驱动电源的工作原理、两级运放的特点和影响运放稳定性的关键因素。实验结果表明设计的驱动电源线性度高、响应速度快、性能稳定,能有效应用于AFM的微驱动定位系统中。

关 键 词：压电陶瓷驱动电源 高精度 设计 原子力显微镜 两级运放 定位系统 控制结构 形貌变化 

分 类 号：TN86[电子电信—信息与通信工程]