一种微小漏率正压漏孔校准的气体取样系统及方法  

出　　处：《低温与特气》2019年第2期13-13,共1页Low Temperature and Specialty Gases

摘　　要：本发明一种微小漏率正压漏孔校准的气体取样系统及方法,包括分子泵抽气系统、氦气瓶、氮气瓶、气体采样阀门、气体取样室、气体膨胀室、气体累积室、第一第二真空计、第一至第七真空阀门及恒温箱;分子泵抽气系统通过第一真空阀门、且氦气瓶的出气口与第二真空阀门的一端连接,其另一端通过气体取样室与气体采样阀门入口连接且出口通过第四、第三真空阀门与分子泵抽气系统连接,并分别与第二真空计、第五第六第七真空阀门的一端连接;第五真空阀门的另一端与气体膨胀室相连接,且第六真空阀门另一端通过气体累积室与被校正压漏孔连接;第七真空阀门另一端与质谱分析系统连接。本发明缩短了示漏气体累积时间、减小了示漏气体累积和取样精度的影响。

关 键 词：气体采样 取样系统 正压漏孔 漏孔校准 漏率 真空阀门 抽气系统 气体取样 

分 类 号：TH89-18[机械工程—仪器科学与技术]