多场调控化合物半导体量子结构关键技术及其固态光源应用  

作　　者：康俊勇[1,2,3,4] 陈凯轩 林丞 林伟[1,2,3,4] 卓祥景 黄兆武[1,2,3,4] 高娜 李金钗 蔡端俊 黄凯[1,2,3,4] 

机构地区：[1]厦门大学 [2]厦门乾照光电股份有限公司 [3]厦门华联电子股份有限公司 [4]厦门光莆电子股份有限公司

出　　处：《中国科技成果》2019年第8期60-61,共2页China Science and Technology Achievements

摘　　要：半导体固态光源光效高、寿命长、环境友好,已成为高新产业增长点。以氮化物为代表的化合物半导体量子结构是实现半导体固态光源的核心。本项目在半导体量子结构关键技术开发中,率先联合调控化学势场、光场、极化场以及电场等,取得重大突破,形成四大创新技术。主要成果和项目创新点:(1)化学势场调控创新开发了分层生长技术,调控晶体生长表面的化学势场,解决了氮化物MOVPE非平衡生长过程中预反应强、原子表面迁移率低、材料二维生长难于精准控制等难题,率先实现单分子层量级量子阱的外延。

关 键 词：半导体量子结构 固态光源 技术开发 化合物 调控 应用 创新开发 MOVPE 

分 类 号：O471.1[理学—半导体物理]