MBR膜处理半导体行业废水的工程实践  

作　　者：宋智云 王敏 黄攀峰 

机构地区：[1]中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,上海200120

出　　处：《科学技术创新》2019年第8期53-54,共2页Scientific and Technological Innovation

摘　　要：采用MBR回收半导体厂排放的DWWA、DOWW,运行结果表明,MBR产水TOC小于4mg/L,浊度小于0.1mg/L,满足回收要求。每日产水量约1800m^3。整套系统运行成本较低,约3.8 RMB/m^3,接近自来水价格。在两年的运行过程中,MBR膜清洗频率较低,约每月一次NaClO清洗,每两年进行一次柠檬酸清洗。

关 键 词：MBR膜 生化处理法 水回收 

分 类 号：X703[环境科学与工程—环境工程] X76