微传感器:方寸之间,创见未来  

作　　者：刘胜[1,2] 

机构地区：[1]武汉大学动力与机械学院 [2]IEEE

出　　处：《科技纵览》2019年第4期76-79,共4页IEEE Spectrum

基　　金：国家科技重大专项(02专项)项目“高密度三维系统级封装的关键技术研究”课题一“系统级封装的设计方法与工具、测试技术和可靠性”(课题编号:2009ZX02038-001);国家863计划项目“气密MEMS封装工艺和规范”(项目编号:2002AA404430);国家973计划项目“MEMS器件规模封装技术基础研究”(项目编号:2011CB309504)的支持。

摘　　要：得益于可提升微传感器封装及系统品质、延长微传感器系统寿命等的关键技术,外形小巧的微传感器可以在不断缩小的空间范围内实现精确、可靠的传感器功能,组成具有多种功能的微型系统,从而大幅度提高自动化、智能化和可靠性水平。

关 键 词：微传感器 传感器系统 可靠性水平 空间范围 微型系统 自动化 智能化 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]