用于纳米三坐标机的非接触式触发探头的研制  

作　　者：张珂 蒋庆磊[1] 

机构地区：[1]潍坊工程职业学院山工机电学院

出　　处：《科技资讯》2019年第13期69-69,71,共2页Science & Technology Information

摘　　要：在进行微米级测量时,纳米三坐标机常用的接触式探头会损伤软的或脆的待测品。该文研制了一种用蓝光DVD读取头作为传感器的非接触式触发探头。该探头的测量原理是当待测样品位于探头聚焦面时,聚焦误差信号返回值为零。将该探头安装于三维纳米平台上实验,结果显示触发分辨率达1nm,标准差约12nm。

关 键 词：蓝光DVD读取头 非接触式触发探头 纳米三坐标 

分 类 号：TH721[机械工程—仪器科学与技术]