背膜工艺占功比对PERC太阳电池效率影响的研究  

Study on the effect of back film process occupation ration on the efficiency of PERC solar cell

作　　者：陈刚 康忠平[1] 江坚[1] 张剑峰[1] Chen Gang

机构地区：[1]浙江正泰太阳能科技有限公司

出　　处：《太阳能》2019年第7期40-42,21,共4页Solar Energy

摘　　要：研究了一种通过调整A型416管式PECVD的背膜工艺占功比,使等离子体辉光放电稳定均匀,改善PERC多晶硅太阳电池背膜均匀性,同时提升电池效率的方法。

关 键 词：PERC 416管式PECVD 背膜工艺 效率 

分 类 号：TM914.4[电气工程—电力电子与电力传动]