再论立式移相平面干涉仪  

作　　者：张成悌[1] 付天坤 龚柯安 

机构地区：[1]中国测试技术研究院

出　　处：《计量技术》2019年第8期40-43,共4页Measurement Technique

摘　　要：文章首先指出移相平面干涉仪普遍存在的问题,即该仪器测量平面度时存在量值不统一的问题,其测量不确定度与其测量重复度极不相匹配,主要是该仪器给不出其标准平晶在相应各点的多截面平面度偏差,无法进行修正,而是用控制标准平晶的平面度的峰谷值小于1/10或1/20个干涉条纹来保证其质量;文章还指出一种新开发的立式移相平面干涉仪与一般的移相平面干涉仪同样存在标准平晶的平面度偏差不能进行修正的问题;文章最后提出该仪器提高测量不确定度的改进方法.

关 键 词：立式移相干涉仪 卧式移相干涉仪 多截面平面度 球面度 球面样板 

分 类 号：TH744.3[机械工程—光学工程]