用磁控管溅射技术控制氧化铟锡薄膜的特性  

出　　处：《等离子体应用技术快报》2000年第12期24-24,共1页

关 键 词：磁控管溅射技术 控制 氧化铟锡薄膜 特性 

分 类 号：O484[理学—固体物理] TN304.055[理学—物理]