FE-SEM分析技术在PCB板级检测中的应用拓展  

作　　者：梁耀晖 靳婷 周波 

机构地区：[1]广州兴森快捷电路科技有限公司

出　　处：《印制电路资讯》2019年第7期57-61,共5页Printed Circuit Board Information

摘　　要：场发射扫描电子显微镜(field emission scanningelectron microscope,FE-SEM)因具有分辨率高、景深长、立体感强和细节丰富等特点,已经成为材料表面形貌和微观结构分析的主要工具,在PCB的品质监控、工艺改善、失效分析等领域被广泛应用。文章通过扫描电镜的工作原理,探究成像模式、加速电压、工作距离、入射电流对PCB检测成像质量的影响,进行总结归纳。

关 键 词：PCB 场发射扫描电镜 成像模式 图像质量 

分 类 号：TN4[电子电信—微电子学与固体电子学]