四极杆质量分析器的杆系位置度检测方法研究  

Position Measurement Method of Quadrupole Mass Filter

作　　者：蒋家东[1] 刘兴宝[1] Jiang Jiadong;Liu Xingbao(Institute of Mechanical Manufacturing Technology,China Academy of Engineering Physics,Mianyang,Sichuan 621900,China)

机构地区：[1]中国工程物理研究院机械制造工艺研究所

出　　处：《工具技术》2019年第11期111-114,共4页Tool Engineering

基　　金：科技部重大科学仪器设备开发专项(2017YFF0106003)

摘　　要：四极杆质量分析器是四极质谱仪的核心部件之一,主要由四根圆柱极杆组成,四根极杆之间的相互位置决定其物理性能,其位置度检测十分关键。由于极杆较长,且四极杆质量分析器中无基准平面,常用的位置度检测方法不适合该位置度检测及评定。通过测量不同轴截面处相邻极杆距离、相对极杆距离,根据测量数据进行位置度评价的方法适合四极杆质量分析器的杆系位置度评价,也适合类似杆系的位置度检测。The quadrupole mass filter is one of the most important part in mass spectrometry(MS)used in the analysis area,which is mainly made by four cyclinder poles.The position tolerance of cyclinder poles show important effect on the function of quadrupole mass filter.The length of poles are long,and there is no datum plane for measure,common way of measuring posion is not fit for such situation.

关 键 词：圆柱极杆 四极杆质量分析器 位置度 

分 类 号：TG806[金属学及工艺—公差测量技术] TH84[机械工程—仪器科学与技术]