基于差动原理的双叉指电容式微纳力发生装置  

Double-Finger Capacitive Micro/Nano Force Generating Device Based on Differential Principle

作　　者：徐立 张卫卫[3] 郑培亮 黄振宇 罗旭东[1,2] Xu Li;Zhang Weiwei;Zheng Peiliang;Huang Zhenyu;Luo Xudong

机构地区：[1]广东省现代几何与力学计量重点实验室,广州510405 [2]广东省计量科学研究院,广州510405 [3]中国科学院空间应用工程与技术中心,北京100094

出　　处：《计量技术》2019年第11期7-9,6,共4页Measurement Technique

基　　金：国家市场监管总局科技计划项目(2016QK028);广东省科技计划项目(2014A040401044)

摘　　要：微纳力的产生是微纳力量值溯源中的关键技术问题,而输入电压的不稳定性和装置卸载后的残余电容对电容式微纳力发生装置输出力值的准确性将产生较大影响。本文利用差动结构原理,将双叉指状电容结构应用于微纳力发生装置中,实现了在水平方向生成标准的微纳力值。经过与传统装置的比较分析表明:该装置能在不增加辅助设备的情况下,有效减少外部输入电压不稳定性以及残余电容引起的残余静电力对标准微纳力值输出的影响,为微纳力量值溯源装置的设计提供了有益的参考。

关 键 词：差动结构 双叉指 微纳力值 发生装置 

分 类 号：TM7[电气工程—电力系统及自动化]