单晶硅磨面倒圆专用磨床简介  

Introduction to Monocrystalline Silicon Grinding and Chamfering Grinder

作　　者：徐公志 胡苗 XU Gong-zhi;HU Miao

机构地区：[1]青岛高测科技股份有限公司,山东青岛266114 [2]淄博市淄川区工业和信息化局,山东淄博255100

出　　处：《精密制造与自动化》2019年第4期57-59,共3页Precise Manufacturing & Automation

摘　　要：介绍了一种单晶硅专用磨床的基本布局,对加工单晶硅类零件机床内关键技术及主要部件做了重点说明。通过对单晶硅棒磨削工艺的研究、编辑磨削工艺和实现机床自动磨削等方法,证明了所采用的单晶硅磨面倒角磨床,可用于磨削单晶硅开方后的四平面和圆弧角,可以收到理想的效果。

关 键 词：单晶硅 四平面 磨面倒角 磨床 

分 类 号：TG5[金属学及工艺—金属切削加工及机床]